GAM STCO-201 無塵精密烤箱


　
  • 使用高效微粒空氣過濾器(99.97%)，可在空氣中的微小灰塵或細菌環境下維持Class10, Class100净化度的幹燥烤箱。

  • 主要使用於不能存在污染物、要求無塵環境的半導體工序。

  • 主要用於光傳感器以及照相機模塊制造、半導體貼片的制造、LCD黏接劑硬化、Wafe乾燥作為光學透鏡鍍膜、制藥公司以及醫療相關領域的BIO清潔烤箱使用。

【產品特徵】

  • 由SUS304特殊地製造了內部、外部，因此即使設置在任何環境中、也不影響氛圍。
  • 用固有的技術實現了低噪音、低振動，可以適用于任何環境。
  • 以不同於其他公司的模式，特殊地設計、製造
    • 即使設置在任何氛圍中，也最大限度地降低了由於本設備引發污染的可能性
    • 完全切斷外部氣流流入內部，使設備內部的清潔度提升到最大限度
    • 可以容易更換慮芯
    • 為了防止由溫度過熱引起的損失，設置了防溫度過升系統
  • 開發、使用可在高溫中使用的慮芯。
  • 作為控制方式可從數字PID程序方式和手冊方式中進行選擇。
  • 對於特殊規格以及尺寸可以訂作。
【產品規格】
　 　 　 　
　 規格 8~300mm 　
　 溫度

營運溫度範圍 : 常溫 ~ 150℃

最大溫度 : 200℃ (200℃以上訂作)

精確度 : ± 1.5℃

穩定性 : ± 1.5℃

控制單元 : 數字程式控制，SSR控制模式

熱電偶類型 : “ K” 類型

 　
　 安全裝置

防溫度過升用控制單元    Yokogawa UP 350(1次), EGO (2次)

 　
　 絶緣

賽拉庫 （Cerakwool）

 　
　 加熱器功率

5 KW

 　
　 加熱時間

30 min

 　
　 循環風扇以及電機

1 HP /  風扇    低噪音用

 　
　 架子類型

移動式2段

 　
　 材料

內部: SUS 304 P.O / 外部: SUS 304 H.L

 　
　 電源

220V, 3Ø, 4P,50/ 60Hz

 　
　 記錄器

Yokogawa SR-1000(2point)

 　
　 標準附件

高溫用99.97% 高效微粒空氣過濾器1套

 　
　 高溫用99.97% 高效微粒空氣過濾器1套

設有驅動中斷S/W

定時器，蜂鳴器, 警報燈, 防溫度過升系統

設有吸氣、排氣高效微粒空氣過濾器

設有排氣輸送管(75Ø)阻尼器（防爆用)

 　
　 選項規格列表

數字P.I.D控制，SSR控制模式

6點記錄器

從“K”類型1點或6點中選擇

4向移動式架子

N2線: SUS EP管1/4”設置